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一种图形化衬底及其制作方法技术
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文档序号:17942427
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本发明提供一种图形化衬底及其制作方法,所述图形化衬底,包括衬底,所述衬底的顶面开设有若干沟槽,从而形成沟槽之间的生长平台,在所述沟槽内沉积有生长抑制层。本发明通过在沟槽内沉积生长抑制层,可以确保半导体材料尽量少地沉积到沟槽内,多在生长平台顶...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。
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