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本实用新型为一种快速拆装机构及立体等离子体源，快速拆装机构用于将工艺套筒与内衬可拆卸地固定连接。快速拆装机构包括销轴、压爪以及支撑环。其中，销轴固定联接在内衬上，压爪具有一个连接端和一个摆动端，压爪的连接端套设在销轴上并能绕销轴转动，通过诸...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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