温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，包括板体，所述板体呈叉形，板体上设有一中心定位孔，一减重孔，三个晶圆承载圆台，板体底部设有三条线缆通道；所述三个晶圆承载圆台，内部均设有压力传感器；所述压力传感器顶部均设耐高温橡胶圆台形垫圈；所述耐高温橡...
该专利属于上海陛通半导体能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海陛通半导体能源科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。