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一种晶圆烘烤装置，它包括腔体、加热器、晶圆传输手臂、晶圆中转承载台、晶圆吸盘。所述晶圆传输手臂安装固定在腔体的前端；所述晶圆吸盘安装固定在腔体的后端；所述晶圆中转承载台安装固定在晶圆传输手臂和晶圆吸盘的中间位置；所述晶圆传输手臂将晶圆传输转...
该专利属于上海陛通半导体能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海陛通半导体能源科技股份有限公司授权不得商用。

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