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一种半导体器件包括在衬底上垂直地一个堆叠在另一个顶部的字线、字线之间的绝缘图案、连接到衬底的垂直柱、以及字线侧面处的在衬底上的剩余牺牲图案。垂直柱穿透字线和绝缘图案。绝缘图案的每个包括字线之间的第一部分以及从第一部分延伸并在剩余牺牲图案之间...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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