温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种酸槽制程干燥能力的验证方法，其特征在于：提供经过湿法刻蚀的晶圆；向晶圆通入用于干法刻蚀的气体；使气体与晶圆中的残留水发生反应，以在晶圆表面聚积为稠密缺陷；统计稠密缺陷的量；基于稠密缺陷的量，判断残留水的量；以及以及基于残留水...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。