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本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种用于晶圆清洗的化学液喷淋管及清洗装置。本发明所述的用于晶圆清洗的化学液喷淋管，其中包括管体和多个喷嘴，所述管体内部设有用于化学液流动的通道，多个所述喷嘴共同连通于所述管体的内部通道，且多个所述喷嘴沿所述...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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