下载一种多晶光致发光钨酸锌薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:17871127

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本发明公开了一种多晶光致发光钨酸锌薄膜的制备方法,采用磁控溅射的方法制备,包括如下步骤:(a)制备氧化钨薄膜层;(b)在步骤(a)的基础上制备氧化锌薄膜层;(c)在步骤(b)的基础上制备氧化钨薄膜,重复步骤(a)中的操作;(d)对上述制备的...
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