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本实用新型公开了一种光刻机用分区控制真空吸盘，涉及光刻机的真空吸盘领域。该真空吸盘包括吸盘本体、真空发生器、管路、若干电磁阀，吸盘本体的横截面为圆形，以横截面的中点为共同圆心，吸盘本体按照若干同心圆分区控制：正中间的最小圆形区域为一个区域，...
该专利属于武汉光谷量子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉光谷量子技术有限公司授权不得商用。

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