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一种金属连线恒温电迁移测试结构制造技术
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文档序号:17839891
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本发明提出一种金属连线恒温电迁移测试结构,包括:下层金属测试线、金属通孔、下层金属连线、上层金属连线、测试金属垫、散热结构,其中所述下层金属测试线的两端连接于下层金属连线,所述下层金属连线分别通过金属通孔连接于所述上层金属连线,所述两条上层...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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