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本实用新型公开了一种晶圆转速测试装置及半导体设备，属于半导体制造技术领域，半导体设备包括可旋转的卡盘，待测试的晶圆通过设置在卡盘边缘的若干个固定销卡固于卡盘上，晶圆转速测试装置包括：反光板，设置于卡盘的上表面上并且位于若干个固定销围绕的圆形...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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