下载一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法的技术资料

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一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法,其涉及功能性薄膜制备技术领域。该二氧化钒纳米团簇的制备方法通过利用气相团簇束流沉积系统进行二氧化钒纳米团簇的制备,其先后经过了金属钒纳米团簇沉积和后退火处理两个步骤,其不但表现出了工艺简单、纳米团簇颗粒制备...
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