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一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法技术
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文档序号:17794627
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一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法,其涉及功能性薄膜制备技术领域。该二氧化钒纳米团簇的制备方法通过利用气相团簇束流沉积系统进行二氧化钒纳米团簇的制备,其先后经过了金属钒纳米团簇沉积和后退火处理两个步骤,其不但表现出了工艺简单、纳米团簇颗粒制备...
该专利属于盐城工学院所有,仅供学习研究参考,未经过盐城工学院授权不得商用。
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