下载处理装置、溅射装置和准直器的技术资料

文档序号:17785546

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根据一个实施例的处理装置包括物体放置单元、源放置单元、准直器和温度调节单元。物体放置单元被配置以供物体放置。源放置单元被布置在与物体放置单元分离的位置上,并且被配置以供粒子源放置,粒子源能够朝向物体喷射粒子。准直器被配置为布置在物体放置单元...
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