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一种紫外光发光二极管用衬底，是以下列步骤制造：提供一蓝宝石衬底；于该蓝宝石衬底的表面设置一AlNxOy膜，其中，x为介于0.7至1之间的数，y为介于0.02～0.3之间的数，该AlNxOy膜的厚度介于15nm至2000nm之间；将设置有该A...
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