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本发明涉及一种磷酸清洗控制装置及方法，所述装置包括以下结构：第一控制器，其分别与硅监控器、空气阀、第二控制器连接；第二控制器，连接磷酸循环回路和第一控制器，用于控制磷酸循环回路中磷酸药液的排出；硅监控器，连接磷酸循环回路，用于监测磷酸循环回...
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