下载半导体存储器件的技术资料

文档序号:17735830

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体存储器件可以包括:堆叠结构,包括交替地堆叠在衬底上的多个绝缘层和多个栅电极;下半导体图案,从衬底的顶部突出;竖直绝缘图案,从衬底沿竖直方向延伸并穿透堆叠结构;和竖直沟道图案,在竖直绝缘图案的内表面上并且接触下半导体图案,其中下半导...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。