下载动态随机存取存储器阵列及其版图结构、制作方法的技术资料

文档序号:17707953

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本发明提供了一种动态随机存取存储器阵列及其版图结构、制作方法,有源区呈阵列式排布,同一列的相邻有源区的宽度不相同,且列方向与有源区的延伸方向相交,因此降低了制备难度,并且为后续模块的制备提供了基础,能改善开启电压较高、导通电阻较大等问题。...
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