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本发明公开一种延长研磨垫修整盘使用寿命的方法，应用于化学机械研磨机，其中，化学机械研磨机包括一研磨垫修整盘，化学机械研磨机内部设置有研磨垫，研磨垫修整盘连接驱动装置；具体方法如下：步骤S1，于研磨垫修整盘的外缘增加一备用修整盘，备用修整盘与...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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