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本实用新型公开一种晶圆料盒定位装置，定位底座用于承托载料盒，板面上的按载料盒的尺寸、在不同位置贯通设置连接孔；限位块通过连接孔可拆卸固定于定位底座的上表面，载料盒的每个边缘至少对应设置一个限位块，通过改变限位块的固定位置，可以与不同尺寸的载...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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