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本发明提供基板对齐装置及方法、基板处理装置及方法、基板排列装置及方法。所述基板对齐装置的马达将下缘部以垂直姿势被基板保持部保持的预定的多张基板依次沿周向旋转。控制部基于就多张基板的翘曲状态输入的输入信息和翘曲‑切口位置信息控制马达，确定多张...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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