基板对齐装置及方法、基板处理装置及方法、基板排列装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供基板对齐装置及方法、基板处理装置及方法、基板排列装置及方法。所述基板对齐装置的马达将下缘部以垂直姿势被基板保持部保持的预定的多张基板依次沿周向旋转。控制部基于就多张基板的翘曲状态输入的输入信息和翘曲‑切口位置信息控制马达，确定多张基板的切口在周向上的位置。由此，缩小被基板保持部保持的状态的各张基板的下缘部和上端之间的厚度方向的距离。结果，能够使多张被基板保持部保持的基板的操作变得容易。

【技术实现步骤摘要】
基板对齐装置及方法、基板处理装置及方法、基板排列装置及方法
本专利技术涉及使周缘部具有切口的多张基板对齐的技术。
技术介绍
以往，在半导体基板(以下，简称为“基板”)的制造工序中，利用对基板实施各种处理的基板处理装置。例如，在日本特开2010-93230号公报(文献1)中，公开了对多张基板批量进行处理的批量式基板处理装置。在该基板处理装置中，由批量处理手部搬入以水平姿势沿厚度方向排列的多张基板。然后，利用姿势转换机构将多张基板的姿势批量转换为垂直姿势之后，批量交到推送器(pusher)。另外，在该基板处理装置中，设置有使被夹具保持为垂直姿势的多张基板的方向对齐的基板方向对齐机构。基板方向对齐机构使多张基板对齐，以使设置于各张基板的周缘部的切口的朝向(即，周向的位置)一致。在日本特开2008-78544号公报(文献2)中，公开了基板对齐装置的结构的一个例子。在该基板对齐装置中，由驱动辊使垂直姿势的多张基板旋转，使各张基板的切口与沿多张基板的排列方向延伸的卡合轴卡合来使基板停止旋转，从而使多张基板对齐。但是，在基板处理装置中被处理的基板存在因受到在搬入基板处理装置之前进行的处理的影响而翘曲的情况。翘曲的基板与没有翘曲的平坦的基板相比厚度方向的大小大。因此，在文献1的推送器等中，存在保持为垂直姿势的基板过度靠近或者接触相邻的基板的担忧。另外，上述的批量处理手部从下侧支撑水平姿势的基板的两侧部，当基板翘曲时难以稳定地支撑和搬运基板。
技术实现思路
本专利技术涉及基板对齐装置，以使多张被基板保持部保持的基板的操作变得容易为目的。本专利技术还涉及基板对齐方法。本专利技术的一基板对齐装置使周缘部具有切口的多张基板对齐。该基板对齐装置包括：旋转部，其使下缘部以垂直姿势被基板保持部保持的予定的多张基板，依次或者同时沿周向旋转；存储部，其存储有翘曲-切口位置信息，上述翘曲-切口位置信息包括多张上述基板的翘曲状态和上述翘曲状态的基板被上述基板保持部保持时成为适当的姿势的切口位置的多个组合；以及控制部，其控制上述旋转部。上述控制部基于就多张上述基板的翘曲状态输入的输入信息和上述翘曲-切口位置信息控制上述旋转部，使多张上述基板依次或者同时沿上述周向旋转，确定多张上述基板的上述切口在上述周向上的位置，从而缩小被上述基板保持部保持的状态的多张上述基板中的各张上述基板的下缘部与上端之间的厚度方向的距离。根据该基板对齐装置，能够使多张被基板保持部保持的基板的操作变得容易。本专利技术也同样适用于基板处理装置。该基板处理装置包括上述基板对齐装置；上述基板保持部，其保持被上述基板对齐装置对齐的多张上述基板；以及液处理部，贮存有浸渍被上述基板保持部保持的多张上述基板的处理液。本专利技术同样适用于基板处理方法。本专利技术同样适用于基板排列装置。该基板排列装置包括：上述基板对齐装置；上述基板保持部，保持被上述基板对齐装置对齐的多张上述基板；以及基板排列机构，在被其他基板保持部保持的多张其他基板之间，分别配置被上述基板保持部保持的多张上述基板。本专利技术同样适用于基板排列方法。本专利技术的其他基板对齐装置使周缘部具有切口的多张基板对齐。该基板对齐装置包括：旋转部，其使下表面以水平姿势被基板保持部支撑的予定的多张基板，依次或者同时沿周向旋转；存储部，其存储有翘曲-切口位置信息，上述翘曲-切口位置信息包括多张上述基板的翘曲状态和上述翘曲状态的基板被上述基板保持部保持时成为适当的姿势的切口位置的多个组合；以及控制部，其控制上述旋转部。上述控制部基于就多张上述基板的翘曲状态输入的输入信息和上述翘曲-切口位置信息控制上述旋转部，使多张上述基板依次或者同时沿上述周向旋转，确定多张上述基板的上述切口在上述周向上的位置，从而缩小被上述基板保持部保持的状态的多张上述基板中的各张上述基板的上端和上述周缘部中与上述基板保持部抵接的抵接部之间的厚度方向的距离。根据该基板对齐装置，能够使多张被基板保持部保持的基板的操作变得容易。在上述的基板对齐装置中，例如，各张上述基板在第一径向上以第一曲率朝向上述厚度方向的一侧弯曲，各张上述基板在与上述第一径向正交的第二径向上，以大于上述第一曲率的第二曲率朝向上述厚度方向的上述一侧弯曲。在上述的基板对齐装置中，例如，各张上述基板在第一径向上朝向上述厚度方向的一侧弯曲，各张上述基板在与上述第一径向正交的第二径向上朝向上述厚度方向的另一侧弯曲。通过以下参照附图对本专利技术进行的详细说明，上述目的及其他目的、特征、方式及优点变得更加明确。附图说明图1是一实施方式的基板处理装置的俯视图。图2是表示基板处理装置的一部分的俯视图。图3是表示基板处理装置的一部分的侧视图。图4是基板的立体图。图5是基板的立体图。图6是表示对齐基板的流程的流程图。图7是表示保持为垂直姿势的基板的图。图8是表示姿势变更机构和推送器的移动的侧视图。图9是表示姿势变更机构和推送器的移动的侧视图。图10是表示基板浸渍于处理液的流程的流程图。图11是表示批量组合的流程的流程图。图12是表示批量处理手部和基板的俯视图。图13是表示保持为水平姿势的基板的剖视图。图14是表示保持为水平姿势的基板的剖视图。附图标记说明8：基板对齐机构；9：基板；10：基板处理装置；21：第一药液槽；22：第一冲洗液槽；23：第二药液槽；24：第二冲洗液槽；27：第一升降机；28：第二升降机；41：批量处理手部；52：垂直保持部；61：升降保持部；62：保持部升降机构；81：马达；93：切口；100：控制部；101：存储部；S11～S13、S21、S22、S31、S32：步骤。具体实施方式图1是本专利技术一实施方式的基板处理装置10的俯视图。基板处理装置10在俯视时呈大致长方形。基板处理装置10是批量处理多张半导体基板9(以下，简称为“基板9”)的批量式基板处理装置。基板9是大致圆板状的基板。基板9在其周缘部具有表示结晶方向的切口93(参照图4和图5)。需要说明的是，切口93从基板9的外周缘的深度是约1mm。基板处理装置10具有：FOUP(Front-OpeningUnifiedPod：前开式晶圆传送盒)保持部1、基板处理部2、主搬运机构3、搬入搬出机构4、姿势变更机构5、推送器6、交接机构7、基板对齐机构8、控制部100及存储部101。控制部100控制基板处理装置10的各个结构的动作等。控制部100是包括进行各种运算处理的CPU、存储基本程序的ROM及存储各种信息的RAM等的一般的计算机系统。FOUP保持部1配置于基板处理装置10的一个角部。FOUP保持部1保持FOUP95。FOUP95是以沿Z方向层叠的状态容纳水平姿势的多张(例如，25张)基板9的容纳器。图1中的Z方向是与重力方向平行的方向，也称为上下方向。图1中的X方向是与Z方向垂直的方向。Y方向是与X方向和Z方向垂直的方向。基板9的水平姿势是指，基板9的主面的法线方向大致朝向Z方向的姿势。另外，后述的基板9的垂直姿势是指，基板9的主面的法线方向朝向与Z方向大致垂直的方向的姿势。在基板处理装置10中，多张基板9以水平姿势或垂直姿势，沿与基板9的主面大致垂直的方向层叠。换言之，水平姿势或垂直姿势的多张基板9沿基板9的厚度方向排列。图2是放大表示基板处理装置10的-Y侧的部位的俯视图。图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板对齐装置，其使周缘部具有切口的多张基板对齐，其中，包括：旋转部，使下缘部以垂直姿势被基板保持部保持的予定的多张基板，依次或者同时沿周向旋转；存储部，存储有翘曲‑切口位置信息，上述翘曲‑切口位置信息包括多张上述基板的翘曲状态和上述翘曲状态的基板被上述基板保持部保持时成为适当的姿势的切口位置的多个组合；以及控制部，控制上述旋转部；上述控制部基于就多张上述基板的翘曲状态输入的输入信息和上述翘曲‑切口位置信息控制上述旋转部，使多张上述基板依次或者同时沿上述周向旋转，确定多张上述基板的上述切口在上述周向上的位置，从而缩小被上述基板保持部保持的状态的多张上述基板中的各张上述基板的下缘部与上端之间的厚度方向的距离。

【技术特征摘要】
2016.09.29 JP 2016-1908601.一种基板对齐装置，其使周缘部具有切口的多张基板对齐，其中，包括：旋转部，使下缘部以垂直姿势被基板保持部保持的予定的多张基板，依次或者同时沿周向旋转；存储部，存储有翘曲-切口位置信息，上述翘曲-切口位置信息包括多张上述基板的翘曲状态和上述翘曲状态的基板被上述基板保持部保持时成为适当的姿势的切口位置的多个组合；以及控制部，控制上述旋转部；上述控制部基于就多张上述基板的翘曲状态输入的输入信息和上述翘曲-切口位置信息控制上述旋转部，使多张上述基板依次或者同时沿上述周向旋转，确定多张上述基板的上述切口在上述周向上的位置，从而缩小被上述基板保持部保持的状态的多张上述基板中的各张上述基板的下缘部与上端之间的厚度方向的距离。2.根据权利要求1所述的基板对齐装置，其中，各张上述基板在第一径向上以第一曲率朝向上述厚度方向的一侧弯曲，各张上述基板在与上述第一径向正交的第二径向上，以大于上述第一曲率的第二曲率朝向上述厚度方向的上述一侧弯曲。3.根据权利要求1所述的基板对齐装置，其中，各张上述基板在第一径向上朝向上述厚度方向的一侧弯曲，各张上述基板在与上述第一径向正交的第二径向上朝向上述厚度方向的另一侧弯曲。4.一种基板处理装置，其中，包括：权利要求1至3中任一项所述的基板对齐装置；上述基板保持部，保持被上述基板对齐装置对齐的多张上述基板；以及液处理部，贮存有浸渍被上述基板保持部保持的多张上述基板的处理液。5.一种基板排列装置，其中，包括：权利要求1至3中任一项所述的基板对齐装置；上述基板保持部，保持被上述基板对齐装置对齐的多张上述基板；以及基板排列机构，在被其他基板保持部保持的多张其他基板之间，分别配置被上述基板保持部保持的多张上述基板。6.一种基板对齐装置，其使周缘部具有切口的多张基板对齐，其中，包括：旋转部，使下表面以水平姿势被基板保持部支撑的予定的多张基板，依次或者同时沿周向旋转；存储部，存储有翘曲-切口位置信息，上述翘曲-切口位置信息包括多张上述基板的翘曲状态和上述翘曲状态的基板被上述基板保持部保持时成为适当的姿势的切口位置的多个组合；以及控制部，控制上述旋转部；上述控制部基于就多张上述基板的翘曲状态输入的输入信息和上述翘曲-切口位置信息控制上述旋转部，使多张上述基板依次或者同时沿上述周向旋转，确定多张上述基板的上述切口在上述周向上的位置，从而缩小被上述基板保持部保持的状态的多张上述基板中的各张上述基板的上端和上述周缘部中与上述基板保持部抵接的抵接部之间的厚度方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本幸辉，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP