下载涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器的技术资料

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提供能够缓和扫描方向上的液滴的着陆位置的允许误差的涂敷装置。其包括:具有多个在第一方向上排列设置有多个喷嘴的头部件的排出组件;保持基板的基板保持部;和在与上述第一方向交叉的第二方向上使上述排出组件和上述基板保持部相对移动的移动机构,上述排出...
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