涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器制造方法及图纸

提供能够缓和扫描方向上的液滴的着陆位置的允许误差的涂敷装置。其包括：具有多个在第一方向上排列设置有多个喷嘴的头部件的排出组件；保持基板的基板保持部；和在与上述第一方向交叉的第二方向上使上述排出组件和上述基板保持部相对移动的移动机构，上述排出组件从上述喷嘴向隔堤的开口部排出发光材料的液滴，上述隔堤作为上述开口部包括在上述第二方向上以规定的顺序排列的第一开口部、第二开口部和第三开口部，上述第一开口部与上述第二开口部和上述第三开口部相比，上述第二方向的尺寸较小，将彼此相邻的上述第二开口部和上述第三开口部在上述第二方向上隔开的隔壁部的厚度小于在上述第二方向上夹着上述第一开口部的2个隔壁部各自的厚度。

Coating device, coating method and organic EL display

A coating device that provides a permissible error to ease the landing position of the droplets in the scanning direction. It includes an exhaust assembly having a plurality of arranged in a first direction is provided with a plurality of nozzle head parts; keep the substrate substrate holder; and the discharge component and the substrate in a second direction crossing the first direction on the holding part relative movement mechanism, the discharge component from the nozzle to the opening Department of Bank discharge drops of luminescent materials, such as the opening bank included in the above second direction to the provisions of the order of the first opening, the second opening and the third opening, the first opening and the second opening and the third opening compared to smaller size of the second direction, will the second adjacent opening and the third opening in the second separated direction on the next part in the direction of thickness less than second clip The respective thickness of the 2 partition walls of the first opening section of the above mentioned above.

【技术实现步骤摘要】
涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器
本专利技术涉及涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器。
技术介绍
现有技术中已知利用有机EL(Electroluminescence)的发光的发光二极管即有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiode)。使用有机发光二极管的有机EL显示器具有薄型、轻量且低电力消耗，而且响应速度、视野角、对比度比方面优异的优点。因此，近年来作为次世代的平板显示器(FPD)受到关注。有机发光二极管具有：在基板上形成的阳极；以阳极为基准设置于基板的相反侧的阴极；设置于阳极与阴极之间的有机层。有机层例如从阳极侧到阴极侧按照下述顺序具有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层。在发光层等的形成中使用喷墨方式的涂敷装置。该涂敷装置将包括发光材料的涂敷液的液滴涂敷在基板上。通过使该涂敷层干燥、烧制而形成发光层(例如参照专利文献1)。作为发光层，例如形成包括发出红色光的红色发光材料的红色发光层、包括发出绿色光的绿色发光材料的绿色发光层和包括发出蓝色光的蓝色发光材料的蓝色发光层。在这些发光层的形成中使用的涂敷液涂敷于预先形成的隔堤的开口部。隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂敷装置，其特征在于，包括：具有多个头部件的排出组件，该头部件在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与所述第一方向交叉的第二方向上使所述排出组件和所述基板保持部相对移动的移动机构，所述排出组件从所述喷嘴向在由所述基板保持部保持的所述基板预先形成的隔堤的开口部排出发光材料的液滴，所述隔堤作为所述开口部包括用于注入发出彼此不同的颜色的光的发光材料的液滴的第一开口部、第二开口部和第三开口部，所述第一开口部、所述第二开口部和所述第三开口部在所述第二方向上以规定的顺序排列，所述第一开口部与所述第二开口部和所述第三开口部相比，在所述第二方向上的尺寸较小，将彼此相邻的所述第二开口部和...

【技术特征摘要】
2016.09.23 JP 2016-1861921.一种涂敷装置，其特征在于，包括：具有多个头部件的排出组件，该头部件在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与所述第一方向交叉的第二方向上使所述排出组件和所述基板保持部相对移动的移动机构，所述排出组件从所述喷嘴向在由所述基板保持部保持的所述基板预先形成的隔堤的开口部排出发光材料的液滴，所述隔堤作为所述开口部包括用于注入发出彼此不同的颜色的光的发光材料的液滴的第一开口部、第二开口部和第三开口部，所述第一开口部、所述第二开口部和所述第三开口部在所述第二方向上以规定的顺序排列，所述第一开口部与所述第二开口部和所述第三开口部相比，在所述第二方向上的尺寸较小，将彼此相邻的所述第二开口部和所述第三开口部在所述第二方向上隔开的隔壁部的厚度，小于在所述第二方向上夹着所述第一开口部的2个隔壁部各自的厚度。2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于：所述第二开口部与所述第三开口部相比，在所述第二方向上的尺寸较小。3.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于：所述第二开口部和所述第三开口部在所述第二方向上的尺寸相同。4.如权利要求1～3中任一项所述的涂敷装置，其特征在于：所述第一开口部、所述第二开口部和所述第三开口部分别跨在所述第一方向上隔开间隔相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。5.一种涂敷方法，其特征在于：包括使具有在第一方向上排列设置有多个喷嘴的头部件的排出组件和保持基板的基板保持部在与所述第一方向交叉的第二方向上相对移动，从所述喷嘴向在由所述基板保持部保持的所述基板预先形成的隔堤的开口部排出发光材料的液滴的步骤，所述隔堤作为所述开口部包括用于注入彼此不同的颜色发光的发光材料的液滴的第一开口部、第二开口部和第三开口部，所述第一开口部、所述第二开口部和所述第三开口部在所述第二方向上以规定的顺序排列...

【专利技术属性】
技术研发人员：太田义治，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP