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本发明提供一种能够放宽液滴在扫描方向上的着落位置的容许误差的涂敷装置。该涂敷装置具有：包含多个喷头的排出单元，该喷头在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与第一方向交叉的第二方向上使排出单元和基板保持部相对移动的移动机构...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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