涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够放宽液滴在扫描方向上的着落位置的容许误差的涂敷装置。该涂敷装置具有：包含多个喷头的排出单元，该喷头在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与第一方向交叉的第二方向上使排出单元和基板保持部相对移动的移动机构，排出单元从喷嘴向预先形成在由基板保持部保持的基板上的隔堤的各开口部排出用于形成发光层的液滴，发光层具有由发出不同颜色的光的多个发光区域按规定顺序在第二方向上隔开间隔地排列而成的发光区域组，至少一个开口部跨隔开间隔地在第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。

Coating device, coating method and organic EL display

The present invention provides a coating device that can relax the allowable error of the drop position of the droplet in the scanning direction. The coating device has a plurality of nozzles included: the discharge unit, the nozzle arrangement in a first direction is provided with a plurality of nozzles; holding the substrate substrate holder; and the discharge unit and the substrate in a second direction crossing the first direction and the holding part moving relative to the moving mechanism, a discharge unit from the nozzle to form in advance the substrate holding the substrate on the Bank of the Department to maintain the discharge opening for the formation of droplets of the light emitting layer, a light-emitting layer has a light emitting region to emit light of different colors according to the provisions of the order in second directions spaced rows of columns and the light emitting region group, at least one opening of the straddle Bay apart in the second direction adjacent and emit the same color light of a plurality of light emitting regions.

【技术实现步骤摘要】
涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器
本专利技术涉及涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器。
技术介绍
现有技术中，已知利用有机EL(Electroluminescence)的发光的发光二极管即有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiode)。采用有机发光二极管的有机EL显示器，薄、轻且电能消耗低，而且具有在响应速度或可视角、对比度的方面出色的优点。因此，作为下一代平板显示器(FPD)，近年来引人注目。有机发光二极管包括：形成在基板上的阳极；以阳极为基准，设置在与基板相反一侧的阴极；和设置在阳极与阴极之间的有机层。有机层，例如从阳极向阴极去依次具有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层。在发光层等的形成中，采用喷涂方式的涂敷装置。该涂敷装置将包含发光材料的涂敷液的液滴涂敷于基板上。通过干燥、烧结该涂敷层而形成发光层(例如，参照专利文献1)。发光层例如形成有：包含发出红色光的红色发光材料的红色发光层；包含发出绿色光的绿色发光材料的绿色发光层；和包含发出蓝色光的蓝色发光材料的蓝色发光层。形成这些发光层所使用的涂敷液被涂敷于预先形成的隔堤的开口部。隔堤例如使用光致抗蚀剂形成，通过光刻处理形成规定的图案。隔堤通过将红色发光层用的涂敷液、绿色发光层用的涂敷液和蓝色发光层用的涂敷液隔开，来防止上述涂敷液混合。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-77966号公报专利技术要解决的技术问题图1为表示现有技术的例子中的涂敷装置所描绘的绘制图案的俯视图。图1中，对发光材料相同的区域施以相同的填充图案。另外，图1中，X方向和Y方向为彼此正交的水平方向，Z方向为与X方向和Y方向正交的铅垂方向。Y方向为排出相同涂敷液的液滴的多个喷嘴排列的列方向。另一方面，X方向为与Y方向正交的扫描方向。此外，列方向和扫描方向可以交叉，也可以不正交。有机EL显示器在每个像素中例如具有发出红色光的红色发光区域2R、发出绿色光的绿色发光区域2G和发出蓝色光的蓝色发光区域2B。相邻的发光区域由隔堤5隔开，隔堤5将全部发光区域逐个包围起来。红色发光区域2R、绿色发光区域2G和蓝色发光区域2B，以该顺序在X方向隔开间隔地反复排列，从而形成发光区域组3。该发光区域组3在与X方向交叉的Y方向上隔开间隔地排列。因此，在Y方向上，发出相同颜色的光的发光区域反复排列。涂敷装置一边改变相对于Y方向上排列的多个喷嘴的、基板的X方向的位置，一边从喷嘴向隔堤5的开口部排出液滴。近年，为了使有机EL显示器的像素密度变大，要求缩小子像素的发光区域的面积。为此，发光区域的X方向的尺寸越来越接近从喷嘴排出的液滴的直径。现有技术中，液滴在X方向上的着落位置的容许误差小，如果液滴在X方向的着落位置从目标位置稍微偏离，则涂敷液会从隔堤5的开口部溢出，存在不同种类的涂敷液混合的情况。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其主要目的为，提供一种能够放宽液滴在扫描方向上的着落位置的容许误差的涂敷装置。用于解决问题的技术手段为解决上述问题，本专利技术的一个方式提供一种涂敷装置，其具有：包含多个喷头的排出单元，上述喷头在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与上述第一方向交叉的第二方向上使上述排出单元和上述基板保持部相对移动的移动机构，上述排出单元从上述喷嘴向预先形成在由上述基板保持部保持的上述基板上的隔堤的各开口部排出用于形成发光层的液滴，上述发光层具有由发出不同颜色的光的多个发光区域按规定顺序在上述第二方向上隔开间隔地排列而成的发光区域组，至少一个上述开口部跨隔开间隔地在上述第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。专利技术效果根据本专利技术的一个方式，提供一种能够放宽在扫描方向液滴的着落位置的容许误差的涂敷装置。附图说明图1表示现有技术的例子中的涂敷装置所描绘的绘制图案的俯视图。图2为表示一个实施方式中的有机EL显示器的俯视图。图3为表示一个实施方式中的有机EL显示器的主要部分的剖视图。图4为表示一个实施方式中的有机发光二极管的制造方法的流程图。图5为表示一个实施方式中的形成有涂敷层的基板的剖视图。图6为表示将图5的涂敷层减压、干燥后的基板的剖视图。图7为表示一个实施方式中的基板处理系统的俯视图。图8为表示一个实施方式中的涂敷装置的俯视图。图9为表示一个实施方式中的涂敷装置的侧视图。图10为表示一个实施方式中的涂敷装置所描绘的绘制图案的俯视图。图11为表示第一变形例中的绘制图案的俯视图。图12为表示第二变形例中的绘制图案的俯视图。附图标记说明10基板13有机发光二极管21阳极22阴极23有机层26发光层26R红色发光层26G绿色发光层26B蓝色发光层261R红色发光区域261G绿色发光区域261B蓝色发光区域262发光区域组31开口部31R红色用开口部31G绿色用开口部31B蓝色用开口部100基板处理系统123a涂敷装置151卡盘152卡盘驱动部160液滴排出单元161支承架162喷头163喷嘴。具体实施方式以下，参照附图，说明用于实施本专利技术的方式。在各附图中，对于相同或者相对应的结构，附以相同或者相对应的符号，并省略说明。<有机EL显示器>图2为表示一个实施方式中的有机EL显示器的俯视图。图2中放大表示了一个单位电路11的电路。有机EL显示器具有：基板10；在基板10上排列的多个单位电路11；在基板10上设置的扫描线驱动电路14；和在基板10上设置的数据线驱动电路。在由与扫描线驱动电路14连接的多个扫描线16和与数据线驱动电路15连接的多个数据线17围成的区域中，设置单位电路11。单位回路11包含TFT层12和有机发光二极管13。TFT层12具有多个TFT(ThinFilmTransistor：薄膜晶体管)。一种TFT具有开关元件的功能，另一种TFT具有控制有机发光二极管13中流过的电流量的电流控制用元件的功能。TFT层12通过扫描线驱动电路14和数据线驱动电路15来工作，向有机发光二极管13供给电流。TFT层12设置于每个单位回路，多个单位回路11能够独立地控制。此外，TFT层12可以为一般的结构，不限于图2所示的结构。此外，关于有机EL显示器的驱动方式，在本实施方式中为有源矩阵方式，但也可以为无源矩阵方式。图3为表示一个实施方式中的有机EL显示器的主要部分的剖视图。作为基板10，采用玻璃基板或者树脂基板等透明基板。在基板10上形成有TFT层12。在TFT层12上形成有使由TFT层12形成的高低差平坦化的平坦化层18。平坦化层18具有绝缘性。在贯通平坦化层18的接触孔中形成有接触头19。接触头19将形成在平坦化层18的平坦面上的作为像素电极的阳极21与TFT层12电连接。接触头19可以与阳极21采用相同的材料并同时形成。有机发光二极管13形成在平坦化层18的平坦面上。有机发光二极管13具有：作为像素电极的阳极21；以像素电极为基准，设置在与基板10相反的一侧的作为相对电极的阴极22；和形成在阳极21与阴极22之间的有机层23。通过使TFT层12工作，电压被施加于阳极21与阴极22之间，有机层发光。阳极21，例如由ITO(IndiumTinOxide：氧化铟锡)等形成，能够使来自有机层2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂敷装置，其特征在于，具有：包含多个喷头的排出单元，所述喷头在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与所述第一方向交叉的第二方向上使所述排出单元和所述基板保持部相对移动的移动机构，所述排出单元从所述喷嘴向预先形成在由所述基板保持部保持的所述基板上的隔堤的各开口部排出用于形成发光层的液滴，所述发光层具有由发出不同颜色的光的多个发光区域按规定顺序在所述第二方向上隔开间隔地排列而成的发光区域组，至少一个所述开口部跨隔开间隔地在所述第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。

【技术特征摘要】
2016.09.23 JP 2016-1861931.一种涂敷装置，其特征在于，具有：包含多个喷头的排出单元，所述喷头在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与所述第一方向交叉的第二方向上使所述排出单元和所述基板保持部相对移动的移动机构，所述排出单元从所述喷嘴向预先形成在由所述基板保持部保持的所述基板上的隔堤的各开口部排出用于形成发光层的液滴，所述发光层具有由发出不同颜色的光的多个发光区域按规定顺序在所述第二方向上隔开间隔地排列而成的发光区域组，至少一个所述开口部跨隔开间隔地在所述第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于：所述发光区域组包含发出第一颜色的光的第一发光区域和发出与所述第一颜色不同的第二颜色的光的第二发光区域，所述第一发光区域的所述第二方向上的尺寸小于所述第二发光区域的所述第二方向上的尺寸，至少一个所述开口部跨隔开间隔地在所述第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个所述第一发光区域。3.如权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于：所述发光区域组还包含发出与所述第一颜色和所述第二颜色不同的第三颜色的光的第三发光区域，所述第二发光区域的所述第二方向上的尺寸小于所述第三发光区域的所述第二方向上的尺寸，至少一个所述开口部跨隔开间隔地在所述第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个所述第二发光区域。4.如权利要求1～3中任一项所述的涂敷装置，其特征在于：所述发光区域组在所述第一方向上隔开间隔地排列有多个，至少一个所述开口部，跨隔开间隔地在所述第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个所述发光区域，并且跨隔开间隔地在所述第一方向上相邻且发出相同颜色的光的多个所述发光区域。5.一种涂敷方法，其特征在于，具有以下步骤：使包含多个喷头的排出单元和保持基板的基板保持部在与第一方向交叉的第二方向上相对移动，其中，所述喷头在所述第一方向上排列设置有多个喷嘴，从所述喷嘴向预先形成在由所述基板保持部保持的所述基板上的隔堤的各开口部，排出用于形成发光层的液滴，所述发光层具有由发出不同颜色的光的多个发光区域按规定顺序在所述第二方向上隔开间隔地排列而成的发光区域组，至少一个所述开口部跨隔开间隔地在所述第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。6.如权利要求5所述的涂敷方法，其特征在于：所述发光区域组包含发出第一颜色的光的第一发光区域和发出与所述第一颜色不同的第二颜色的光的第二发...

【专利技术属性】
技术研发人员：篠木武虎，林辉幸，大岛澄美，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP