下载掩膜版、存储器及存储器的制造方法的技术资料

文档序号:17614611

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本发明提供了一种掩膜版、存储器及存储器的制造方法,掩膜版包括沿着第一方向延伸的第一线形图案及沿着第二方向延伸的第二线形图案,由此在掩膜版之间的套准时,可以在第一方向和第二方向两个方向上进行套准,从而提高了套准精度。进一步的,掩膜版能够用来形...
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