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本发明涉及确定光刻系统(100)的多个反射镜(M1‑M6)各自的位置的传感器组合件，其包括：多个位置传感器装置(140)，其中各个位置传感器装置(140)包括测量单元(201)、光源(203)、检测单元(204)和信号处理单元(207)，其...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及确定光刻系统(100)的多个反射镜(M1‑M6)各自的位置的传感器组合件，其包括：多个位置传感器装置(140)，其中各个位置传感器装置(140)包括测量单元(201)、光源(203)、检测单元(204)和信号处理单元(207)，其...