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本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种高精度真空规管。一种高精度真空规管，包括：外壳；薄膜片，所述薄膜片固定设置在外壳内部，并将外壳内部空间分为真空空间和被测空间；定电极，所述定电极固定设置在真空空间内，所述定电极与所述薄膜片相对的那一...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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