温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种石英薄膜片真空规管。一种石英薄膜片真空规管，包括：外壳，所述外壳包括上盖实体和底座；薄膜片，所述薄膜片将所述外壳内部空间分为真空空间和被测空间；所述薄膜片表面镀有一层镀金；陶瓷极板，所述陶瓷极板固定...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。