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本发明公开了一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，包括箱体，所述箱体一侧设有控制箱，所述控制箱前侧设有控制面板，所述箱体顶部设有蜂鸣器，所述箱体内部设有上膛体和下膛体，所述下膛体设置于上膛体底部，所述上膛体和下膛体前侧均设有活动门。本发明鼓...
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