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本实用新型提供一种晶圆抛光工艺用的货架，包括：底板、前下盖板、后盖板、上盖板、进水管、排水管、第一喷淋头、载板、模板、和感应装置；前下盖板竖立连接在底板前端，后盖板竖立连接在底板后端；载板斜向搁置在前下盖板上，向后盖板方向下倾斜；模板放置于...
该专利属于吉姆西半导体科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉姆西半导体科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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