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一种新型3D自旋转移矩MRAM存储器的制备方法及存储器技术
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下载一种新型3D自旋转移矩MRAM存储器的制备方法及存储器的技术资料
文档序号:17542810
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本发明提供了一种新型3D自旋转移矩MRAM存储器的制备方法及存储器,所述制备方法包括在垂直方向构建自旋转移矩磁隧道结(STT‑MTJ),具体构建方法包括以下步骤:提供氧化硅薄膜和磁性薄膜相互间隔的薄膜堆叠结构;在所述薄膜堆叠结构上纵向刻蚀,...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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