下载多晶硅片及其制备方法的技术资料

文档序号:17531560

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本发明涉及一种多晶硅片,所述多晶硅片表面分布数个晶粒,所述晶粒的长轴尺寸小于157毫米,短轴尺寸小于或等于80毫米,所述晶粒的长轴方向与晶粒生长方向一致。多晶硅片具有平行于晶粒生长取向的具有较大晶粒,减少了晶粒晶界,提高了硅片质量。还提出一...
该专利属于江苏协鑫硅材料科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏协鑫硅材料科技发展有限公司授权不得商用。

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