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本实用新型属于晶体生长技术领域，具体涉及一种温场可调的碳化硅晶体生长炉,包括炉体和上炉盖以及下炉盖，炉体内设有坩埚，坩埚上方设有籽晶轴，上炉盖上设有观察窗，观察窗上设有冷却夹套，冷却夹套上设有气体进口和气体出口；上炉盖、下炉盖以及炉体的内壁...
该专利属于山东天岳先进材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东天岳先进材料科技有限公司授权不得商用。

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