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描述一种用于测量已蒸发材料的沉积速率的测量组件(100)。测量组件(100)包括用于测量沉积速率的振荡晶体(110)和用于固持振荡晶体(110)的固持器(120)，其中固持器包括具有高于k＝30W/(mK)的热传导系数k的材料。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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