用于测量沉积速率的测量组件及其方法技术
Measurement components and methods for measuring deposition rate
A measuring component (100) for measuring the deposition rate of an evaporated material is described. The measuring module (100) includes an oscillating crystal for measuring deposition rate (110) and a holder (120) for holding the oscillating crystal (110), wherein the holder includes materials having a heat conductivity K higher than k = 30W/ (mK).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于测量沉积速率的测量组件及其方法
本公开内容涉及用于测量已蒸发材料的沉积速率的测量组件、用于材料蒸发的蒸发源、用于将材料施加至基板的沉积设备、以及用于测量已蒸发材料的沉积速率的方法。本公开内容尤其涉及用于测量已蒸发的有机材料的沉积速率的测量组件及其方法。另外，本公开内容尤其涉及容纳有机材料在其中的装置，例如，用于有机材料的蒸发源和沉积设备。
技术介绍
有机蒸发器是用于制造有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiodes,OLED)的工具。OLED是特殊形式的发光二极管，其中发射层包括特定有机化合物薄膜。有机发光二极管(OLED)用来制造用于显示信息的电视机屏幕、计算机屏幕、移动电话、其它手持装置等。OLED也可用于一般空间照明。OLED显示器的可行颜色、亮度和视角范围大于传统液晶显示器(LCD)的可行颜色、亮度和视角范围，因为OLED像素直接发光而不牵涉背光。因此，相较传统LCD显示器的能量损耗，OLED显示器的能量损耗要少得多。另外，OLED可制造于柔性基板上的事实产生进一步的应用。OLED的功能取决于有机材料涂层厚度。此厚度必须是在预定...
【技术保护点】
一种用于测量已蒸发材料的沉积速率的测量组件(100)，包括：振荡晶体(110)，用于测量所述沉积速率；以及固持器(120)，用于固持所述振荡晶体(110)，其中所述固持器包括具有高于k＝30W/(mK)的热传导系数k的材料。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于测量已蒸发材料的沉积速率的测量组件(100)，包括：振荡晶体(110)，用于测量所述沉积速率；以及固持器(120)，用于固持所述振荡晶体(110)，其中所述固持器包括具有高于k＝30W/(mK)的热传导系数k的材料。2.根据权利要求1所述的测量组件(100)，其中所述固持器(120)的所述材料是从由以下材料组成的群组中选择的至少一种材料：铜、铝、铜合金、铝合金、黄铜、铁、银、银合金、金、金合金、镁、钨、硅碳化物和氮化铝。3.根据权利要求1或2所述的测量组件(100)，还包括热交换器(132)，用于与所述振荡晶体(110)交换热。4.根据权利要求1至3任一项所述的测量组件(100)，还包括温度传感器(131)，用于测量所述振荡晶体(110)的温度。5.根据权利要求1至4任一项所述的测量组件(100)，还包括温度控制系统(130)，用于控制所述振荡晶体(110)的温度，特定地是其中所述温度控制系统(130)包括温度传感器(131)、热交换器(132)和控制器(133)中的一个或多个。6.根据权利要求1至5任一项所述的测量组件(100)，还包括遮板(140)，特定地是可移动遮板，用于阻挡由测量出口(150)提供的所述已蒸发材料，所述测量出口用于将所述已蒸发材料提供至所述振荡晶体(110)。7.根据权利要求6所述的测量组件(100)，其中所述遮板(140)包括热防护屏蔽件(141)，用于保护所述振荡晶体(110)免受所述已蒸发材料的温度的影响。8.根据权利要求6或7所述的测量组件(100)，其中所述遮板(140)包括至少一个冷却部件(142)，特定地是用于提供冷却流体的至少一个管道，用于冷却所述遮板(140)。...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔斯·曼纽尔·迭格斯坎波，卡尔·阿尔伯特·凯姆，斯蒂芬·班格特，海克·兰特格雷夫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
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