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一种基板处理装置，其能够抑制处理液到达基板表面的器件图案区域的情况，并且能够适当地进行基板周缘部的处理。上杯体(11)具有包围半导体晶片(W)的形状。该上杯体(11)具有从半导体晶片(W)侧的端缘朝下方延伸的圆筒状的壁部(101)。该壁部(...
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