下载基于间接测量的多涂层厚度测量方法的技术资料

文档序号:17463764

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本发明公开了一种基于间接测量的多涂层厚度测量方法,采用一套组合式的测量机构,测量机构包括测量头、能够带动测量头运动的多轴运动机构以及后台数据处理系统;多轴运动机构各关节设置有反馈装置,用于实时获取各关节的位置和末端测量头发射点的位置;该方法...
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