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提供厚度测量装置。厚度测量装置(8)测量板状物(晶片(10))的厚度，其包含：脉冲宽带光源(82)，其发出对于板状物具有透过性的波段的光；光纤布拉格光栅(83)，其传递脉冲光并根据传递距离按照不同波长分光出脉冲光并使其逆行；光纤传递构件(8...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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