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本发明提供了IGBT器件背面工艺方法及IGBT器件。该方法包括：在形成背面金属层之前，利用含有氨水和双氧水的清洗液对IGBT器件的背面进行清洗的步骤。通过该清洗步骤可以有效去除前面工序引入的有机粘污和颗粒，大大降低了背面金属脱落的几率，且增...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。

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