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一种PDMS材料柔性变角度阵列衍射光学器件的制作方法，包括以下步骤：步骤1：制备好包含N组一维二元衍射光学结构的柔性变角度阵列衍射光学器件掩模版；步骤2：选择硅片作为基底材料，并进行清洗；步骤3：在硅片上涂敷光刻胶，形成光刻胶衍射图形；步骤...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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