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本发明公开了一种气体传感器加热盘的加工方法，包括在硅晶圆上设置绝缘层；在绝缘层上设置加热电极和检测电极，两者相互独立；硅晶圆刻蚀出检测腔。该方法将加热电极和检测电极都设置在相同绝缘层上，加热电极和检测电极之间相互间隔独立，相互不接触。因此在...
该专利属于深迪半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深迪半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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