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坐标测定装置和坐标校正方法制造方法及图纸
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文档序号:17440430
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本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有:压入驱动机构控制部,其以使将相互正交的3个方向和测定力与2个方向的测定力互为反向的2个方向合起来的合计5个方向分别成为相对于校正基准体的表面而言的法线的方式,使测定触头在该5个方向上分别与...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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