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本发明公开了一种利用微结构调控降低透明导电氧化物薄膜器件功耗的方法，包括采用SCCO2法处理透明导电氧化物薄膜的步骤，具体为：取去离子水加入SCCO2设备的反应釜内；透明导电氧化物薄膜置于反应釜内但不接触去离子水，密封反应釜；使反应釜内温度...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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