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本发明提供一种承载装置及半导体加工设备，其包括托盘、盖板和压环，托盘和盖板共同夹持晶片；压环用于将托盘和盖板固定在卡盘上。该压环包括由下而上依次设置的导电层和非导电层，其中，导电层与所述盖板相接触；非导电层用于阻挡等离子体轰击导电层。本发明...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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