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带有具有凹槽的内插器的集成电路结构制造技术
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下载带有具有凹槽的内插器的集成电路结构的技术资料
文档序号:17396579
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本文公开了具有带有凹槽的内插器的集成电路(IC)结构。例如,IC结构可包含:具有抗蚀表面的内插器;部署在抗蚀表面中的凹槽,其中凹槽的底部是表面精加工的;以及位于抗蚀表面处的多个导电接触。可公开和/或要求保护其它实施例。...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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