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本实用新型公开了一种防护工具，属于半导体制造技术领域，适用于在维护化学气相沉积设备时保护静电吸盘，所述化学气相沉积设备包括静电吸盘基座，所述静电吸盘设置于所述静电吸盘基座内，所述静电吸盘基座具有向上的圆形的开口；所述防护工具包括一圆盘状的盖...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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