下载一种微空气隙光学元件及其制造方法的技术资料

文档序号:17385965

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本发明揭示了一种微空气隙光学元件,包括两块相对设置的棱镜,两块所述棱镜的相对表面上均通过真空镀膜工艺镀有至少三处金属膜,两块棱镜上的所述金属膜厚度相同且位置、数量一一对应设置;两块所述棱镜上的对应金属膜通过真空加热封接工艺连为一体,以固定两...
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