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本实用新型公开了一种研磨垫整理器，属于半导体制造技术领域，适用于修整化学机械研磨机台的研磨垫，所述研磨垫整理器包括：研磨盘，所述研磨盘的一面接触所述研磨垫；基座，设置于所述研磨盘未接触所述研磨垫的一面上；压力发生装置，设置于所述基座的上方并...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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