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具有外延生长的源极/漏极区的晶体管中的电阻减小制造技术
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下载具有外延生长的源极/漏极区的晶体管中的电阻减小的技术资料
文档序号:17367233
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公开了用于具有外延生长的硼掺杂硅锗(SiGe:B)S/D区的p‑MOS晶体管中的电阻减小的技术。该技术可以包含在晶体管的硅(Si)沟道区和SiGe:B替换S/D区之间生长一个或多个界面层。所述一个或多个界面层可以包含:单层硼掺杂Si(Si:...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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